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超低損失電力トランジスタ研究開発拠点
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支援内容


支援内容1


a)ナノレベル精密メッキ技術支援:種々の電気的・磁気的・機械的・光学的機能を有する薄膜形成の支援

使用装置と主な用途

・極微細表面解析装置(ラマン機能)
 被メッキ物表面の状態把握及び分子レベルでのメッキ膜成長の観察。

・集束イオン/電子ビーム加工観察装置
 メッキナノ粒子やメッキ層断面観察。

・表面安定化成膜装置
 ナノ粒子を基板に担持する原子レベルでの表面改質、表面修飾。

低炭素社会実現の為に早稲田大学として取り組んでいるテーマの例
メッキによるナノ粒子を利用した燃料電池の触媒開発



支援内容2


b)ナノ/マイクロ加工技術支援:nm からμm に渡るスケールで、シリコン、ガラス、樹脂など素材を対象に、高アスペクト比を有する微細構造形成の支援

使用装置と主な用途

・精密制御半導体基板アライメント・表面処理及び接合システム
 各種材料基板の接合、表面処理。

・集束イオン/電子ビーム加工観察装置
 電子顕微鏡下での三次元加工。

・アトミックレイヤーデポジション(ALD)装置
 屈折率、誘電率の異なる層の形成。

・ラジカルモニター付きダイヤモンド成膜装置
 低温形成ナノダイヤモンドを利用した超高硬質透明コーティング膜の形成

・極微細表面解析装置(ラマン機能)
 加工表面の事前観察。

低炭素社会実現の為に早稲田大学として取り組んでいるテーマの例
深堀構造(トレンチ構造)による太陽光の吸収効率の上昇や集光用マイクロレンズを利用した太陽電池の高効率化



支援内容3


c)デバイス特性評価支援:高周波FET 特性の計測支援(現有設備)、低損失電力デバイスの高耐圧および高電流計測、低消費電力集積回路の統計的計測による最適設計の支援

使用装置と主な用途

・高耐圧デバイス測定装置
 電力デバイスの耐圧を真空中で測定。

低炭素社会実現の為に早稲田大学として取り組んでいるテーマの例
低損失電力デバイス・高周波デバイスをターゲットとした、省エネルギーデバイス・システムの開発に多角的な情報をもたらす測定の実施と設計へのフィードバック



提供試作例


支援成果例




支援内容詳細


支援の種別
支援機能 技術領域
超微細化工 精密メッキ形成に関する支援
最高レベルの精密メッキ形成技術を基に、種々の電気的・磁気的・ 機械的・光学的機能を有する薄膜および微細構造体形成の支援を行う。
ナノ/マイクロ加工形成に関する支援
 nmからμmに渡るスケールで、シリコン、ガラス、樹脂など多様な素材を対象に、 高アスペクト比を有する微細構造体の形成を実現する。
計測・分析 デバイス素構造形成に関する支援
種々の素子の精密な特性評価に必須となる素構造形成の支援を行う。
プロジェクトの総合的推進


 






NTRC(ナノテクノロジーリサーチセンター)の運用実績(装置利用のべ回数)


NTRC(ナノテクノロジーリサーチセンター)の運用実績(装置稼働率)